一、硅烷的性质
硅烷也称矽烷,是化学分子式为SiH4的一种化合物,该气体无色无臭,密度1.44克/升,熔点-185℃,沸点-111.8℃,不溶于水。在室温下硅烷是一种易燃的气体,在空气中无需加火源,硅烷就可以自燃,生成二氧化硅和水,并放出大量的热量,可被一般氧化剂氧化。
二、燃烧塔原理
本燃烧塔采用燃烧洗涤法净化硅烷气体,它分别有一、二级燃烧塔和三级燃烧洗涤塔组成。
根据硅烷(矽烷)在空气中自燃的特性,特在燃烧塔中设置密闭燃烧室,为保证硅烷在燃烧室内充分燃烧,必须保证燃烧塔内负压,控制在-100Pa左右。
三、适用范围
我公司生产的硅烷燃烧塔,主要用于单晶硅、多晶硅行业生产中产生的硅烷尾气净化。该设备的成功应用,主要是我公司技术人员对国外半导体行业净化硅烷尾气技术方面的消化吸收,来满足国内太阳能、光能行业,半导体行业及CVD化学气体沉积工艺中产生的硅烷气体净化。

    四、净化性能

废气性质
初始浓度
净化效率
排气筒高度
符合排放标准
NH3
≤1000mg/m3
≥98%
≥15m
二级
SiH4
≤3000mg/m3
≥99%
≥15m
二级